Mehrlagen-Schichtdickenmessung

Mehrlagen-Schichtdickenmessung umfasst Verfahren, mit denen die Dicken einzelner Schichten in einem Mehrlagenaufbau getrennt erfasst werden. Moderne Methoden nutzen elektromagnetische oder terahertzbasierte Verfahren, um berührungslos durch nichtleitende Beschichtungen zu messen.